解析MOS晶體管版圖及其設(shè)計繪圖示意說明

本節(jié)簡短討論一下制造一整套（實用的）掩膜版過程中主要得一些方面。這些制造過程可分布圖、布圖編碼和制版。這一節(jié)主要對那些正在作器件模擬的讀者們有用處，他們可能需要設(shè)計一個包含若千個器件的供測試用的芯片。MOS晶體管版圖。希望下面的資料將有助于使他們和制造工程師們（或硅產(chǎn)品制造廠）更容易相互配合。

MOS晶體管版圖

如10.1節(jié)所述，(布圖)設(shè)計規(guī)則包含了一套對電路各層布圖的幾何約束，它與制造工藝中的空間分辨能力有關(guān)。當(dāng)圖形轉(zhuǎn)移到硅片上時，后者受到圖形畸變的限制，一些基本的畸變實例示于圖10.24。一般，設(shè)計規(guī)則用長度的絕對單位來表示，例如微米。當(dāng)各工序中的空間分辨能力改進(jìn)后，設(shè)計規(guī)則便可按比例縮小，允許布圖更密集些。在一般的生產(chǎn)設(shè)施中，總是不能按全套設(shè)計規(guī)則均勻的按比例縮小，因為在整個工藝過程中，工藝的空間分辨能力不是均勻的。MOS晶體管版圖。然而，若允許用最差情況的分辨能力作為基本的工藝分辨能力，則就可能設(shè)計一套最簡單的設(shè)計規(guī)則，隨著工藝分辨能力不斷改進(jìn)，它可以均勻地按比例縮小。這樣的規(guī)則廣泛用于大學(xué)和對IC制造不熟悉的一些工業(yè)，并且可在電路設(shè)計的教科書中找到。

布圖中的繪圖可以用手工畫，通常是用繪圖工具。但是，現(xiàn)在幾乎全部用那些可以買到的計算機(jī)輔助布圖工具中的一種來完成。后者通常由計算機(jī)程序組成，通過視頻計算機(jī)終端與設(shè)計者相互聯(lián)系，并可在計算機(jī)終端上交互性的產(chǎn)生圖形。這種工具有各種形式，從單獨(dú)使用的到分時結(jié)構(gòu)的都有。MOS晶體管版圖。有一些是商業(yè)上可買到的，而其它很多都是在各種機(jī)構(gòu)或大學(xué)中作為專用工具或研制的工具。

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